Технология производства электровакуумных приборов. Термовакуумная обработка. Экспериментальное сопровождение технологического процесса

Рассмотрены физико-химические основы и проанализирован процесс термовакуумной обработки электровакуумных приборов. Приведено описание специфических особенностей магнетрона как электровакуумного прибора для генерирования высокочастотного излучения. Перечислены особые свойства

используемых материалов. Даны характеристики и указано своеобразие операций технологического процесса термовакуумной обработки магнетронов.

Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника» в рамках дисциплины «Термовакуумные процессы и оборудование». Материал пособия можно использовать студентам и аспирантам соответствующего профиля при выполнении научно-исследовательских работ.